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微機電系統(tǒng)，Micro-Electro-Mechanical-SySTems，簡稱MEMS，基于MEMS技術的加速度傳感器已有30多年的發(fā)展歷史，但因為存在技術和成本等客觀發(fā)展因素的限制，未能像電子消費產(chǎn)品一樣進入市場。
目前，由于MEMS加速度傳感器技術的進步，如今低功耗、高性能的MEMS加速度傳感器已經(jīng)改變了市場新的傳感器市場發(fā)展趨勢。 mems加速度傳感器特點 由于傳統(tǒng)的基于機電工藝制成的傳感器和執(zhí)行器在體型、價位和產(chǎn)能上不能融入工業(yè)、消費電子等領域的需求，MEMS逐漸快速發(fā)展起來。
與傳統(tǒng)的傳感器相比較，MEMS傳感器在規(guī)格、性能、自動化等層面都具有非常明顯的優(yōu)勢。比如說，在陀螺儀及麥克風層面，MEMS技術的應用領域為之技術升級帶來較大跨躍。
比較1：陀螺儀。傳統(tǒng)的光纖陀螺儀，體型雖然越來越小，但針對放入一些電子產(chǎn)品而言是不可能完成的。而且為了確保性能，這樣一個陀螺儀的產(chǎn)量之低和價位之高也是顯而易見。 而我們現(xiàn)在智能手機上選用的陀螺儀則是MEMS陀螺儀，其體積小、功耗低、易于數(shù)字化和自動化，特別是成本低，易于批量生產(chǎn)，非常適合手機、汽車牽引控制系統(tǒng)、醫(yī)療器械這些需要大規(guī)模生產(chǎn)的設備。
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