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鍵合焊區(qū)的損壞與共面性有關(guān)，共面性差將導(dǎo)致探針卡的過度深入更加嚴(yán)重，會(huì)產(chǎn)生更大的力并在器件鍵合焊區(qū)位置造成更大的劃痕。共面性由兩部分決定：彈簧探針的 自然共面性（受與晶圓距離的影響）以及探針卡和客戶系統(tǒng)的相關(guān)性。傾斜造成斜率X、距離Y。當(dāng)測(cè)試300mm晶圓時(shí)，傾斜程度不變但距離卻加倍了， 就會(huì)產(chǎn)生共面性問題。由于傾斜造成探針卡部分更靠近晶圓，而隨著每個(gè)彈簧向系統(tǒng)中引入了更多的力，造成的過量行程將更大，產(chǎn)生更大的劃痕，與此同時(shí)部分由 于傾斜而遠(yuǎn)離的部分還會(huì)有接觸不良的問題，留下的劃痕也幾乎不可見。考慮到大面積的300mm晶圓，以及需要進(jìn)行可重復(fù)的接觸測(cè)試，將探針卡向系統(tǒng)傾斜便 相當(dāng)有吸引力。自動(dòng)調(diào)節(jié)的共面系統(tǒng)降低了較大力造成損壞的可能，并允許測(cè)試設(shè)備與不同系統(tǒng)之間的兼容。

根據(jù)測(cè)試探針制作流程不同可分成傳統(tǒng)機(jī)械加工與微機(jī)電制造工藝兩部分，后者具有更大優(yōu)勢(shì)，可以改善測(cè)試探針微細(xì)化、共面度、精度等問題。目前市售垂直式探針卡，均無法達(dá)到偵測(cè)每根測(cè)試探針力量的功能，測(cè)試探針垂直式排列，無法由上而下觀測(cè)測(cè)試探針接觸情形，改善的方法可借助探針力量回饋或改良影像辨識(shí)系統(tǒng)，以確保所有探針的接觸狀況都是理想的。

測(cè)試探針材 料的選用，必須搭配芯片焊區(qū)或凸點(diǎn)材質(zhì)來決定，一般常見的測(cè)試探針金屬選用鎢、鈸銅、鎢錸及鈀合金等。鎢具有高強(qiáng)度，可以輕易刺破焊區(qū)與凸點(diǎn)氧化鋁層，降 低接觸阻抗，但具有較強(qiáng)的破壞性，不適用于薄膜的測(cè)試場合；鈹銅合金一般應(yīng)用在鍍金的芯片焊區(qū)或凸點(diǎn)，提供比鎢更低的接觸阻抗，但是探針硬度不如鎢離，因 此磨耗比較快；至于鈀合金性質(zhì)類似于鈹銅合金，有比鎢更低的接觸阻抗， 最大的優(yōu)點(diǎn)是可以用電鍍方式來制作探針。其中鎢錸合金（97%-3%）的接觸電阻比鎢稍高，抗疲勞性相似。但是，由于鎢錸合金的晶格結(jié)構(gòu)比鎢更加緊密，其 測(cè)試探針頂端的平面更加光滑。因此，這些測(cè)試探針頂端被污染的可能性更小，更容易淸潔，其接觸電阻也比鎢更加穩(wěn)定。所以鎢銖合金是一種更佳的選擇。