中圖光學(xué)輪廓檢測儀采用白光干涉技術(shù)，結(jié)合具有優(yōu)異抗噪性能的3D重建算法，真實(shí)還原樣品的每一個(gè)細(xì)節(jié)，隨意翻轉(zhuǎn)縮放，都能輕松觀察、測量樣品的任意特征。中圖儀器提供1100單鏡頭手動(dòng)版和1200多鏡頭自動(dòng)版兩種機(jī)型，另可針對(duì)不同的客戶需求，在兩種型號(hào)間選取不同配置進(jìn)行組合，讓儀器切合客戶需求，貼心省力。
參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào)：SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng)：1024×1024
光學(xué)ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）
干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）
XY平臺(tái)：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備，均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程：100mm，電動(dòng)
Z向掃描范圍：10mm
Z向分辨率：0.1nm
可測樣品反射率：0.05%-100%
水平調(diào)整：±5°手動(dòng)
粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm
臺(tái)階高測量：準(zhǔn)確度0.3%，重復(fù)性0.08% 1σ
主要特點(diǎn)：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高
生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司
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中圖光學(xué)輪廓檢測儀粗糙度、平面度、孔洞分析等3D測量功能全部囊括，距離、角度、直徑測量等2D輪廓分析功能覆蓋，有依據(jù)ISO|ASME|EUR|GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)的300余種特征參數(shù)。重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達(dá)0.1nm，廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。
薄膜粗糙度測量
磨損定量分析
塑料薄片微觀
應(yīng)用
在3C領(lǐng)域，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量藍(lán)寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度；
在LED行業(yè)，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量藍(lán)寶石、碳化硅襯底表面粗糙度；
在光纖通信行業(yè)，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量光纖端面缺陷和粗糙度；
在集成電路行業(yè)，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；
在EMES行業(yè)，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量臺(tái)階高度和表面粗糙度；
在軍事領(lǐng)域，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量藍(lán)寶石觀察窗口表面粗糙度......
