應(yīng)用：應(yīng)為干燥氣體，清潔氣體，無(wú)腐蝕性成分，灰塵，霧氣等。
DF-200系列 數(shù)字質(zhì)量流量控制器適合于空氣系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)室、生物醫(yī)療、環(huán)境環(huán)保儀器、工廠 工程應(yīng)用的計(jì)量和控制。
可采用50SLM 以下規(guī)格，在1秒鐘內(nèi)響應(yīng)（整個(gè)區(qū)域）的高性能數(shù)字質(zhì)量控制器。同 系列備有最大 300SLM的大流量產(chǎn)品陣容。
特性：
1.標(biāo)準(zhǔn)氣體可用實(shí)際氣體校正
2.~50SLM整個(gè)區(qū)域1秒鐘以內(nèi)高速響應(yīng)
3.10SCCM~300SLM產(chǎn)品陣容
4.標(biāo)準(zhǔn)配備RS-485通信功能
5.支持ROHS、CE規(guī)格
6.使用專用軟件，可以更改氣體類型或?qū)M量程范圍更改為指定滿量程（FS）的30％至100％（僅限CO2的30％至80％） 。
7.流量校準(zhǔn)單元SCCM和SLM是在0°C和1個(gè)大氣壓下轉(zhuǎn)換為體積流量cc / min和L / min的值。
| 傳感器方式 |
熱繞組傳感器 |
| 閥門方式 |
比例電磁閥（未通電時(shí)關(guān)閉） |
| 目標(biāo)氣體（* 1） |
多氣體： |
| N2（空氣，H2，He，Ar，O2，CO2）（* 2） |
| 流量范圍（* 3） |
10/30/50/100/300/500 SCCM，1/3/5/10 SLM（* 2） |
| 控制范圍 |
2至100％（F.S.） |
| 反應(yīng)能力（* 4） |
總流量控制范圍在1秒內(nèi)（±2％F.S.） |
| L：50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa |
| 精度（* 5） |
±1.0％SP（> 35％F。S.）， |
| ±0.35％F。S.（≦35％F。S.） |
| 再現(xiàn)性 |
±0.25％FS |
| 工作壓差（* 6） |
50至300 kPa（Ar，CO2：100.300 kPa） |
| 最大入口壓力 |
500kPa（G） |
| 耐壓 |
980kPa（G） |
| He泄漏率（* 7） |
1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下 |
| 溫度 |
允許周圍溫度 |
5～50℃ |
| 精度保證溫度 |
15～35℃ |
| 允許儲(chǔ)存溫度 |
-10～60℃ |
| 允許環(huán)境濕度 |
10～90%RH （無(wú)結(jié)露） |
| 氣體接觸材料 |
SUS316，SUS316L，磁性不銹鋼，Ni，PTFE，PCTFE，F(xiàn)KM |
| 電氣連接 |
D-sub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)），RJ-45模塊化插孔x 2 |
| 流量設(shè)定信號(hào) |
0至5 VDC（輸入阻抗約1MΩ） |
| 流量輸出信號(hào) |
0至5 VDC（負(fù)載電阻10kΩ或更高） |
| 數(shù)字通信 |
使用RS485旋轉(zhuǎn)開(kāi)關(guān)設(shè)置地址：最多99（9600 bps） |
| 所需電源（DC） |
+15 VDC（±5％）：150 mA，-15 VDC（±5％）：150 mA |
| 接頭（* 8） |
1 / 4F 900（標(biāo)準(zhǔn)），1/4 UJR，Rc1 / 4 |
| 安裝姿勢(shì) |
推薦水平方向 |
| 重量（* 9） |
約850g |
