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U-GAGE T30U超聲波傳感器檢測集裝箱頂部到傳感器的距離，當(dāng)距離超過預(yù)設(shè)值時發(fā)出信號報警。并且可以通過后臺控制器用傳感器本身的示教線來實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程示教的功能。

2.晶圓架取空報警應(yīng)用

碟片被沖洗后檢察架子上是否有碟片存在。

碟片放在透明容器中，在清洗機(jī)械中清洗后，對射式T18超聲波傳感器能可靠檢測架子上是否有盤片存在。因?yàn)橛酗w濺物液體，不推薦光電傳感器感在這種情況應(yīng)用。