FS4001系列小氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。獨(dú)特的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
- 傳感器靈敏度高,有極小的始動流量
- 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無需溫度壓力補(bǔ)償,保證了傳
- 感器的高精度計(jì)量
- 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
- 傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性
- 全量程高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
- 低功耗
- 低壓損
- 響應(yīng)時(shí)間快
主要參數(shù)：
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性能參數(shù)
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FS4001
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單位
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通 徑
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1.0
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1.8
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mm
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最大流量
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30, 100, 200
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500, 1000
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SLPM
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量程比
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2132132132131231312100:1
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精 度
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±(1.5+0.2FS)
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%
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重復(fù)性
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0.25
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%讀數(shù)
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零點(diǎn)輸出飄移
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±30
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mV
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輸出飄移
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±0.12
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%/oC
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響應(yīng)時(shí)間
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131
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mses
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工作電源
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8~18Vdc,50mA
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輸出方式
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線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc
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最大流量壓損
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350
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300
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pa
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最大工作壓力
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0.5
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MPa
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工作溫度
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-10 ~ +55
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oC
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存儲溫度
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-20 ~ +65
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oC
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工作濕度
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<95%RH（無結(jié)冰、無凝露）
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機(jī)械接口
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可拆式軟管接頭
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校準(zhǔn)方式
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空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa
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重量
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15
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g
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