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產(chǎn)品類別：氣體質(zhì)量流量計/流量控制器
產(chǎn)品型號：SFC3000

產(chǎn)品特點：        

－經(jīng)濟型，適合大的OEM
－全數(shù)字標(biāo)定，RS485接口
－精度：設(shè)定值的2%
－量程：0-200 sccm
－多種氣體標(biāo)定，可通過軟件切換N2/He/H2/Ar

應(yīng)用領(lǐng)域：
_分析儀器 _干刻（RIE/DRIE）
_生物技術(shù) _氣相色譜分析
_激光焊機 _過程自動化
_真空鍍膜 _燃料電池

安裝尺寸

70*25*78（mm）