一、SJ6000激光干涉儀的基本介紹
激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長(zhǎng)為單位的一種計(jì)量測(cè)試方法，是公認(rèn)的高精度、高靈敏度的檢測(cè)手段，在高端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國(guó)進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計(jì)、高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測(cè)量。通過(guò)激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號(hào)，然后通過(guò)高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù)，將數(shù)據(jù)通過(guò)計(jì)算機(jī)進(jìn)行顯示和動(dòng)態(tài)分析。
二、SJ6000激光干涉儀的突出優(yōu)勢(shì)
1.測(cè)量精度高、速度快，穩(wěn)定性好
①使用美國(guó)高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)
②以光波長(zhǎng)(633nm)為測(cè)量單位，分辨率可達(dá)nm級(jí)
③使用高速光電信號(hào)采樣和處理技術(shù)，測(cè)量速度可達(dá)到4m/s。
④配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測(cè)量精度
⑤分離式干涉鏡設(shè)計(jì)，避免了測(cè)量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變
2. 應(yīng)用范圍廣
①可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)
②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩(wěn)定度等分析
③ 可實(shí)時(shí)監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析
3.軟件界面友好
①使用當(dāng)前熱門的軟件界面開(kāi)發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡(jiǎn)單。
②將靜態(tài)測(cè)量和動(dòng)態(tài)測(cè)量?jī)煞N功能合并到一個(gè)軟件中，更方便用戶切換測(cè)量類型。
③向?qū)讲僮�，流程清晰，更符合�?guó)內(nèi)用戶的使用習(xí)慣。
4 性價(jià)比高
性能達(dá)到了國(guó)外儀器的水準(zhǔn)，價(jià)格是國(guó)內(nèi)儀器的良心價(jià)。
三.SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)
- 測(cè)量方式：?jiǎn)晤l
- 穩(wěn)頻精度：0.05ppm
- 動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz
- 預(yù)熱時(shí)間：5-10分鐘
- 工作溫度范圍：0~40℃
- 環(huán)境溫度范圍：0~40℃
- 存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃
- 空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
- 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
- 空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
- 大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)
- 測(cè)量距離：0-40m
- 測(cè)量精度：0.5ppm (0-40℃)
- 測(cè)量分辨率：1nm
- 測(cè)量最大速度：4m/sec
- 軸向量程：0-15m
- 測(cè)量范圍：±10°
- 測(cè)量精度：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）
- 測(cè)量分辨率：0.1μm/m
- 軸向量程：0.1-4.0 m
- 測(cè)量范圍：±2.5 mm
- 測(cè)量精度：±0.5% R±0.5±0.15M2 μm（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）
- 測(cè)量分辨率：0.01μm
- 測(cè)量范圍：±3/M mm/m
- 測(cè)量精度：±0.5% R±2.5±0.8M μm/m（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）
- 測(cè)量分辨率：0.01μm/m
- 軸向量程：0-15 m
- 測(cè)量范圍：±1.5 mm
- 測(cè)量精度：±0.6% R±0.02 M2 μm/m（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）
- 測(cè)量分辨率：0.1μm
- 角度測(cè)量范圍：0-360°
- 精密轉(zhuǎn)臺(tái)角度增量：5°
- 精密轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度：±1秒
- 精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)性：0.2秒
四.SJ6000激光干涉儀內(nèi)置檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)
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ISO230-2
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老版國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)
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ISO230-1997
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新版國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)
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ANSI B5.54
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美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
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ASME B89.1.12M
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美國(guó)機(jī)械工程師協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)
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NMTBA
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美國(guó)機(jī)床協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)
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BS 3800
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英國(guó)機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)
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BS 4656
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英國(guó)三測(cè)機(jī)標(biāo)準(zhǔn)
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JIS B6330
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日本國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
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GB 17421-2000
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中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
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VDI 3441
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德國(guó)機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)
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