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   中國電子科技集團公司第四十五研究所(以下簡稱45所)是我國專業(yè)從事半導體專用工藝設(shè)備研發(fā)、制造和技術(shù)服務(wù)的大型科研生產(chǎn)機構(gòu)，是國家“863”重大設(shè)備攻關(guān)、IC后封裝設(shè)備產(chǎn)業(yè)化示范工程項目承擔單位。45所憑借其多年來的技術(shù)積累和創(chuàng)新，默默地耕耘在半導體設(shè)備領(lǐng)域。

   10大門類產(chǎn)品服務(wù)4大領(lǐng)域

   中國電子科技集團(CETC)第45研究所是國內(nèi)從事電子專用設(shè)備技術(shù)、整機系統(tǒng)和應(yīng)用工藝研究開發(fā)與生產(chǎn)制造的專業(yè)化科研生產(chǎn)單位，以機器視覺技術(shù)、運動控制技術(shù)、精密零部件制造與優(yōu)化技術(shù)、物料傳輸系統(tǒng)技術(shù)、精密運動工作臺系統(tǒng)技術(shù)、專項工藝研究與物化技術(shù)和整機系統(tǒng)集成技術(shù)為主要研究方向，以半導體與集成電路專用設(shè)備、新興電子元器件專用設(shè)備和其他機電一體化專用設(shè)備為主要研發(fā)對象?，F(xiàn)已形成以IC關(guān)鍵工藝設(shè)備“光刻機”為龍頭，晶圓加工設(shè)備、芯片封裝設(shè)備及電子元件設(shè)備等門類齊全，系列配套的產(chǎn)品。由45所研制的半導體材料加工、光刻、電鍍、腐蝕清洗、檢測系統(tǒng)、劃片、鍵合設(shè)備在國內(nèi)處于技術(shù)領(lǐng)先地位并已具備規(guī)模生產(chǎn)能力。

   45所研制的產(chǎn)品涉及4大領(lǐng)域10大門類，有100多個品種。30多年來，45所共取得科研成果500多項，其中200多項獲得國家、省(部)級以上獎勵；申請并獲得技術(shù)專利50多項；有59種專用設(shè)備被國家列入替代進口產(chǎn)品目錄，另有20多項被列為國家級新產(chǎn)品。由45所研發(fā)生產(chǎn)的6000多臺(套)專用設(shè)備在我國集成電路制造行業(yè)和其他行業(yè)近300家企業(yè)的生產(chǎn)線、科研院所以及高校發(fā)揮著重要作用。

   45所產(chǎn)品服務(wù)的主要市場領(lǐng)域包括微電子、半導體照明(LED)、太陽能光伏、半導體分立器件及元件、特種材料等其他電子元器件。其中，微電子及分立器件客戶大多數(shù)分布在珠、長三角地區(qū)，主要涉及光刻機、清洗系統(tǒng)、探針臺、劃片機、焊線機等產(chǎn)品；半導體照明設(shè)備產(chǎn)品的客戶(封裝+芯片)主要分布在珠三角地區(qū)，主要涉及光刻機、清洗系統(tǒng)、探針臺、劃片機、粘片機、焊線機等產(chǎn)品；太陽能光伏(含太陽能硅片及電池片)設(shè)備產(chǎn)品的客戶主要分布在長三角地區(qū)，涉及多線切割機、印刷機、清洗制絨系統(tǒng)、甩干機、劃片機等產(chǎn)品。其他元件、特種材料等電子元器件設(shè)備產(chǎn)品客戶在全國各地均有分布，涉及的產(chǎn)品包括切片機、清洗機、甩干機、劃片機等。

   LED設(shè)備受到廣泛青睞

   在市場開拓方面，他們注重國內(nèi)大用戶、龍頭企業(yè)的開發(fā)，在半導體后封裝專用設(shè)備、 LED(發(fā)光二極管)生產(chǎn)專用設(shè)備及太陽能生產(chǎn)專用設(shè)備等方面取得了較大的進展，所開發(fā)的部分產(chǎn)品已經(jīng)能和國外大公司的產(chǎn)品抗衡，尤其是LED設(shè)備更是受到眾多廠商的青睞。

   目前，針對DB-8002LED自動粘片機他們有一支專業(yè)的售后隊伍，能夠完成從售前的技術(shù)支持，到售后的技術(shù)服務(wù)及維修工作，有效保證設(shè)備在用戶現(xiàn)場的正常運行。國內(nèi)LED制造行業(yè)競爭日趨激烈，產(chǎn)品的利潤非常低，大多數(shù)以手工生產(chǎn)為主，產(chǎn)品品質(zhì)難以保證。而自動化設(shè)備原來要依賴進口，不僅價格昂貴，售后服務(wù)也得不到保證。目前國內(nèi)這類設(shè)備年需求超過500臺（套），而45所開發(fā)的設(shè)備恰恰滿足這部分用戶的需求，在設(shè)備性能和品質(zhì)上和國外設(shè)備相當，價格和售后就成了他們優(yōu)勢所在。同時，為了追求較高的利潤，很多廠商都要生產(chǎn)一些個性化的LED應(yīng)用產(chǎn)品，這就對設(shè)備也提出了個性化要求。45所可以很快地深入用戶，了解用戶工藝情況，提出解決方案。
   未來他們將按既定的開發(fā)思路，除在產(chǎn)品技術(shù)含量、可靠性、制造成本等方面繼續(xù)做好工作以外，重點開發(fā)國內(nèi)的龍頭企業(yè)，以此帶動整個行業(yè)的市場開拓，謀求更大的市場份額。

   積極跟蹤生產(chǎn)工藝發(fā)展

   45所作為我國半導體制造設(shè)備開發(fā)生產(chǎn)的國家隊，始終站在與國外設(shè)備競爭的最前沿，堅持以為太陽能電池企業(yè)提供工藝實用性強、性價比高的設(shè)備為己任，以降低太陽能電池企業(yè)投資和運行成本、提升太陽能電池企業(yè)市場競爭力為目標，致力于加快提高國產(chǎn)設(shè)備整線供給裝備和工藝技術(shù)的能力。由于看到太陽能電池和半導體照明產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展勢頭，45所針對其工藝和使用特點，對相關(guān)產(chǎn)品進行了適應(yīng)性改進和提升，取得了較好的市場反響。絲網(wǎng)印刷、硅片制絨、清洗和大容量沖洗甩干等設(shè)備已批量進入國內(nèi)主要的太陽能電池生產(chǎn)企業(yè)。

   由45所自主研發(fā)的太陽能光伏設(shè)備，擁有自主知識產(chǎn)權(quán)，并申請了多項專利，關(guān)鍵零部件國產(chǎn)化率已達80%?！瓣柟獠少徆こ獭睘閲鴥?nèi)外優(yōu)秀的原材料和元器件供應(yīng)商搭建了技術(shù)交流平臺，在北京及其周邊地區(qū)已形成了良好的生產(chǎn)、供應(yīng)相互配套的產(chǎn)業(yè)鏈，促進了這些地區(qū)企業(yè)的經(jīng)濟效益，帶動了地方經(jīng)濟的發(fā)展。

   在產(chǎn)品開發(fā)策略上，他們瞄準晶體硅太陽能電池制造最關(guān)鍵的設(shè)備——多線切割機和全自動印刷設(shè)備重點開發(fā)、目前，這兩種設(shè)備的國產(chǎn)化工作取得了重大進展。

   在太陽能硅片制備方面，45所自主研發(fā)，擁有15項專利的多線切割機日前已成功切割出厚度為180μ m的標準 156mm×156mm方硅片。

   在太陽能電池片制造方面，備受關(guān)注的全自動絲網(wǎng)印刷自動系統(tǒng)開發(fā)也取得了重大突破，設(shè)備關(guān)鍵的單元技術(shù)，如視覺對準、自動傳輸翻片系統(tǒng)、碎片在線檢測系統(tǒng)、自動柔性印刷、效率檢測分揀系統(tǒng)等已完成了實用化開發(fā)，該設(shè)備將在2010年實現(xiàn)批量生產(chǎn)。

   45所從20世紀60年代就開始了對內(nèi)圓及外圓切片機的研究，積累了豐富的技術(shù)經(jīng)驗。面對太陽能原材料價格上漲，多線切割機市場需求增長的趨勢，適時地開發(fā)了DXQ-601型多線切割機，技術(shù)指標、工藝性能等參數(shù)均接近或超過國外同類設(shè)備的水平，填補了國內(nèi)該類產(chǎn)品的空白。與傳統(tǒng)內(nèi)圓切片工藝相比，線切割具有彎曲度、翹曲度小，平行度好，總厚度偏差離散性小，刃口切割損耗小，表面損傷層淺，晶片表面粗糙度小，切割效率高等顯著優(yōu)點。

   制絨是制造太陽能電池的一道關(guān)鍵工藝，對提高電池的轉(zhuǎn)換效率起著重要的作用，目前在單晶硅太陽能電池制造工藝中，主要采用槽式制絨設(shè)備。由45所研制的SFQ-1508ZT型全自動制絨清洗機、SFQ-1504ZT全自動去磷硅玻璃清洗機、SFQ-1506ZT全自動預清洗機等設(shè)備，全過程均采用自動化。用戶在手動上料后由3套機械傳動裝置來完成腐蝕、清洗等工藝過程，減少了人工干預，具有自動化程度高，運行成本低，生產(chǎn)效率高、性能穩(wěn)定、安全可靠等特點。

   在太陽能電池生產(chǎn)工藝中，干燥是控制成品率、降低碎片率的關(guān)鍵步驟。在現(xiàn)代電池生產(chǎn)工藝中，主要采用烘干加熱結(jié)合旋轉(zhuǎn)甩干的方式，其技術(shù)關(guān)鍵體現(xiàn)在烘干效果、碎片率、運行成本等方面。45所開發(fā)的LXS-800型立式旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機，在目前各主要太陽能電池生產(chǎn)線(南京中電、江蘇林洋、保定天威等)上都得到了用戶的肯定。

   結(jié)合太陽能電池工藝中的印刷工藝和國內(nèi)工藝線中試驗線和中小型生產(chǎn)線的要求，45所研制了半自動印刷設(shè)備——— WY-159型精密網(wǎng)版印刷機、WY-178型自動精密網(wǎng)版印刷機和WY-216型精密網(wǎng)版印刷機，設(shè)備采用手動上下料，自動完成太陽能電池片生產(chǎn)過程中正面金屬電極、背接觸電極、背鉆等的絲網(wǎng)印刷，也適用于厚膜電路、印刷電路板、液晶顯示器、表面貼裝等電子元器件的高精密圖形印刷。

   隨著太陽能電池行業(yè)的不斷發(fā)展，45所將繼續(xù)發(fā)揮研究所在研發(fā)方面的優(yōu)勢，積極跟蹤生產(chǎn)工藝的發(fā)展，不斷改進和提高設(shè)備的工藝適應(yīng)性，以適應(yīng)市場的發(fā)展及工藝的要求。

   相關(guān)鏈接

   45所科技研發(fā)取得的成績

   1975年 研制成功我國首臺精縮照相機，獲國家科技進步一等獎。
   1978年 研制成功我國首臺圖形發(fā)生器。
   1984年 研制成功我國首臺分步光刻機，并獲得電子工業(yè)科技進步一等獎。
   1993年 研制成功我國首臺雙面光刻機，并獲得國家級新產(chǎn)品獎，電子工業(yè)科技進步三等獎。
   1997年 研制成功我國首臺超低溫陣列探針測試臺，獲電子工業(yè)科技進步二等獎。
   1997年 研制成功我國首臺全自動探針測試臺。
   2005年 承擔的國家重點科研項目“SB-601型雙面光刻機”通過了設(shè)計定型和驗收，該設(shè)備是國內(nèi)第一臺實用化的6英寸雙面光刻機，在國內(nèi)處于領(lǐng)先水平。
   2005年 金剛石內(nèi)圓刀片鍍制成型裝置技術(shù)、旋轉(zhuǎn)沖洗設(shè)備專用無刷電機驅(qū)動裝置、油墨打印頭三項專利獲全國第十五屆發(fā)明展銀獎。
   2005年 8英寸晶片減薄機通過國家鑒定，該設(shè)備進給分辨率可達0.1μm，具有世界先進水平，在此基礎(chǔ)上減薄出60μm的片子為國內(nèi)首創(chuàng)。