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Celerity推出新型GF100系列質量流量控制器

http://www.henanjusheng.com 2009-02-06 10:43 來源:Celerity公司

    作為為全球半導體生產(chǎn)商、太陽能和電子工業(yè)提供精確儀器和先進氣體與液體解決方案的技術領先商,Celerity公司宣布,該公司面向市場推出新型GF100系列質量流量控制器(MFC)。該產(chǎn)品旨在精確測量、監(jiān)控和控制半導體設備及太陽能電池生產(chǎn)工藝中的超純度工藝氣體化學反應。該新型Celerity GF100系列質量流量控制器是一個可高度配置的平臺,具有Celerity第二代專有的壓力瞬變不敏感型流量技術,可以改善工藝控制、降低擁有成本,并消除存貨管理的復雜性。

   該新型Celerity GF100系列質量流量控制器產(chǎn)品系列具有諸多重要優(yōu)勢,包括高精確度、可重復的氣體測量、先進的數(shù)字架構進行的控制、為實現(xiàn)最大工藝靈活性和最優(yōu)化對氣體和流量范圍進行原位電子再配置、壓力瞬變不敏感型流量技術設計(顯著減少了高純度氣體輸送系統(tǒng)的成本和體積)、以及便于自己進行簡單、有效的維護工作的嵌入式智能診斷、維修端口和軟件。

   Celerity公司銷售與市場營銷部高級副主席David Somo表示:“Celerity公司一直是先進數(shù)字超高純度質量流量控制器方面市場領先供應商,也是壓力臨時不敏感型MFCs產(chǎn)品領先供應商。通過結合公司在氣體流量控制方面的豐富經(jīng)驗,該GF100系列 持續(xù)改善我們市場領先的質量流量控制器精度,為客戶提供無間隙RoHS兼容升級功能?!?
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