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   編者語(yǔ)：12月3日～5日，愛(ài)發(fā)科在“SEMICON JAPAN 2008”上參考展出了這種同心6軸型搬運(yùn)設(shè)備。

   用4只機(jī)器手靈活搬運(yùn)硅晶圓。愛(ài)發(fā)科在“SEMICON JAPAN 2008”（12月3日～5日，幕張Messe會(huì)展中心）上參考展出了這種同心6軸型搬運(yùn)設(shè)備。此次為首次面向公眾開(kāi)放，為了一睹實(shí)機(jī)風(fēng)采，參觀者絡(luò)繹不絕，紛紛向解說(shuō)員熱心咨詢。  
   
   據(jù)該公司介紹，盡管此前已存在使用4只機(jī)器手的晶圓搬運(yùn)設(shè)備，但4只機(jī)器手只能進(jìn)行相同操作。因此，將晶圓搬入搬出制造設(shè)備的處理室時(shí)，也只能4只機(jī)器手同時(shí)搬運(yùn)，無(wú)法靈活搬運(yùn)晶圓。而此次的搬運(yùn)設(shè)備4只機(jī)器手均可獨(dú)立工作，因此能夠從處理完畢的晶圓開(kāi)始，按順序連續(xù)不斷地將晶圓搬入搬出。該公司表示，通過(guò)將軸數(shù)量由原來(lái)的3～4軸增加為6軸實(shí)現(xiàn)了這種搬運(yùn)功能。  
   
   目前，企業(yè)不斷要求提高半導(dǎo)體制造設(shè)備 的生產(chǎn)性并降低COO（Cost of Ownership），可以說(shuō)此次的同心6軸型搬運(yùn)設(shè)備是搬運(yùn)設(shè)備廠商針對(duì)該要求提出的一個(gè)解決方案。