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   編者語(yǔ)：在中國(guó)MEMS技術(shù)實(shí)用化相關(guān)會(huì)議“第二屆微納米技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)化國(guó)際研討會(huì)（ICMAN 2008）”上，北京大學(xué)微電子學(xué)研究院教授張海霞表示，“要建立起能使中國(guó)MEMS實(shí)用化所需時(shí)間縮短3～5年的機(jī)制”。

   北京大學(xué)微電子學(xué)研究院教授張海霞表示，“要建立起能使中國(guó)MEMS實(shí)用化所需時(shí)間縮短3～5年的機(jī)制”。這是張海霞在中國(guó)MEMS技術(shù)實(shí)用化相關(guān)會(huì)議“第二屆微納米技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)化國(guó)際研討會(huì)（ICMAN 2008）”上就大學(xué)與產(chǎn)業(yè)合作談及的。 

　　中國(guó)的MEMS開(kāi)發(fā)有兩大特點(diǎn)。一是政府的作用比其他國(guó)家大，大學(xué)甚至承擔(dān)著為產(chǎn)業(yè)界開(kāi)發(fā)產(chǎn)品的職能。除產(chǎn)品開(kāi)發(fā)外，甚至連制造工藝的開(kāi)發(fā)都傾向于由大學(xué)來(lái)完成。張海霞指出之所以能夠縮短中國(guó)MEMS實(shí)用化所需時(shí)間，是因?yàn)檫@種具有中國(guó)特色的產(chǎn)官學(xué)一體化體制。張海霞表示打算花1～2年時(shí)間由研究開(kāi)發(fā)機(jī)構(gòu)完成試制之前的工作，然后用3～5年為量產(chǎn)做準(zhǔn)備。 

　　為了實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)，張海霞領(lǐng)導(dǎo)的微電子學(xué)研究院MEMS研究所將致力于創(chuàng)辦MEMS風(fēng)險(xiǎn)企業(yè)、向企業(yè)提供IP、通過(guò)與企業(yè)合作培養(yǎng)技術(shù)人員等。比如，她介紹了MEMS研究所創(chuàng)辦的兩家MEMS風(fēng)險(xiǎn)企業(yè)。其中，最先通過(guò)分拆成立的MEMS廠商名為First MEMS（北京青鳥(niǎo)元芯微系統(tǒng)科技有限責(zé)任公司），是在北京中關(guān)村科技園區(qū)設(shè)有基地的MEMS傳感器廠商，擁有自己的制造設(shè)備。目前，F(xiàn)irst MEMS已投產(chǎn)了壓力傳感器、濕度傳感器、氣體傳感器及加速度傳感器。還準(zhǔn)備投入使用硅微傳感器。