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日本開發(fā)可安裝在蜻蜓翅膀上的微型風速傳感器

http://www.henanjusheng.com 2008-01-23 11:48 來源：機電一體化

下山研究小組在開發(fā)MEMS的同時，還研究昆蟲的動作。這是受原東京大學(xué)工學(xué)系機械情報工學(xué)專業(yè)教授三浦宏文曾在該研究室研究昆蟲活動的影響。此次傳感器的開發(fā)目的是將MEMS技術(shù)應(yīng)用于昆蟲的動作解析中?！?

傳感器采用在帶電極的SOI底板上形成長約0.5mm、厚1μm以下的懸臂梁（懸臂彈簧）壓電電阻的構(gòu)造。壓電電阻采用硅半導(dǎo)體，當風吹向懸臂，懸臂產(chǎn)生應(yīng)變時，這一應(yīng)變會使電阻發(fā)生變化，這樣就會得到變形的數(shù)值，進而獲得風的強度值。懸臂部分的重量僅為0.1μg?！?

傳感器的性能方面，已確認可實現(xiàn)此前的目標——測量-2m/s～2m/s的風速。此前曾擔心把傳感器安裝到1秒內(nèi)上下振動數(shù)次的翅膀上，懸臂會因為翅膀的加速度而產(chǎn)生噪音。而此次也把其影響減小到了測定值的3～10％（標準5%），已確認實際應(yīng)用時沒有問題?！皞鞲衅鞯墓舱瘢ü逃校╊l率為10Hz以上，（對于數(shù)Hz的翅膀振動頻率而言）基本不受影響”。

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