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聚焦半導(dǎo)體制程中的關(guān)鍵工藝，臺達(dá)充分發(fā)揮深耕工業(yè)自動化的經(jīng)驗(yàn)與優(yōu)勢，提升制程設(shè)備的效率，優(yōu)化設(shè)備的控制、驅(qū)動及執(zhí)行水平，全面提升設(shè)備的生產(chǎn)品質(zhì)和效率，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的精益智造。
在近日舉辦的2023南京半導(dǎo)體大會上，臺達(dá)向現(xiàn)場專業(yè)觀眾展示了以工業(yè)自動化技術(shù)開發(fā)的多款半導(dǎo)體設(shè)備解決方案，助力半導(dǎo)體晶片的生產(chǎn)效率與質(zhì)量雙提升。
清洗機(jī)解決方案
通過控制器內(nèi)建的探針功能，快速同步實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)控制，全面優(yōu)化清洗機(jī)運(yùn)行效率；設(shè)備與上位系統(tǒng)無縫對接，提高設(shè)備管理的智能化水平。
晶圓取放解決方案
基于臺達(dá)機(jī)器人控制驅(qū)動一體機(jī)MS系列強(qiáng)大的控制性能，搭配取放手臂，重復(fù)定位精度可達(dá)±0.01mm，快速響應(yīng)晶圓手臂取放動作。
分選機(jī)解決方案
伺服驅(qū)動系統(tǒng)ASDA-A3提供軟著陸功能，搭配微型直線電機(jī)及運(yùn)動控制軸卡，力控精確、響應(yīng)快速，改善IC分選機(jī)檢測準(zhǔn)確度。
劃片機(jī)解決方案
EtherCAT總線軸卡搭配高慣量的伺服電機(jī)，動作快速且不振蕩；微型直線電機(jī)力量精準(zhǔn)可控，降低觸發(fā)碰撞損壞的概率。
裸晶高速取放解決方案
內(nèi)建力量控制并兼具高速高精運(yùn)動性能，滿足高精度及高響應(yīng)需求；龍門同動功能可達(dá)成雙直線電機(jī)共同驅(qū)動單一軸向運(yùn)動提升CT及良率。
SECS/GEM解決方案
通過組態(tài)工具的設(shè)定和高度自動化的無縫整合，協(xié)助客戶迅速的將SECS/GEM 標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)入設(shè)備，解決底層設(shè)備繁多及信息整合不易等問題。
立足“芯”發(fā)展，恪守智能制造的本質(zhì)，臺達(dá)不斷以創(chuàng)新的工業(yè)自動化技術(shù)助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)進(jìn)行設(shè)備和產(chǎn)線的智能化改造升級，幫助企業(yè)降低成本，提升生產(chǎn)效率和產(chǎn)品品質(zhì)，與半導(dǎo)體行業(yè)攜手推進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展！
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